產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

ULVAC愛(ài)發(fā)科

真空泵真空計(jì)

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您的位置：首頁(yè) - 產(chǎn)品中心 - ULVAC愛(ài)發(fā)科 - 真空泵 - LR421-T日本ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列
通過(guò)低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

更新時(shí)間：2024-05-31
產(chǎn)品型號(hào)：LR421-T
廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
訪(fǎng) 問(wèn) 量：578

立即咨詢(xún)

聯(lián)系電話(huà)：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列

特點(diǎn)

低溫區(qū)域均熱化（LR系列）

在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

氦氣密封

通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對(duì)策

采取了1000msec以?xún)?nèi)瞬停對(duì)策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

縮短備料下料室的排氣時(shí)間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

公司經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，已整合多方海外廠(chǎng)商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣(mài)、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。

池田屋主要經(jīng)營(yíng)日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類(lèi)檢測(cè)儀器、測(cè)量?jī)x器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類(lèi)工業(yè)流通產(chǎn)品。

公司擁有專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、資深的管理團(tuán)隊(duì)，通過(guò)全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)水平和成熟技術(shù)，

服務(wù)于電子消費(fèi)類(lèi)、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車(chē)業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專(zhuān)業(yè)用戶(hù)里的世界500強(qiáng)企業(yè)。

規(guī)格

型號(hào)		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大排氣速度	50Hz	62 m³/h (1030 L/min)	112 m³/h (1860 L/min)	183 m³/h (3100 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m³/h (1333 L/min)	126 m³/h (2100 L/min)	237 m³/h (3950 L/min)
到達(dá)壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口		KF40			VG50
質(zhì)量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
電源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	6.9 A (at 200V)	11.2 A (at 200V)	18.9 A (at 200V)	20.8 A (at 200V)
	最大值	7.3 A (at 200V)	11.8 A (at 200V)	20.6 A (at 200V)	48.5 A (at 200V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min			>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
氮?dú)獯祾?/td>	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM			沒(méi)有	0~45 SLM

型號(hào)		LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T (TT)	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)
使用泵	干式真空泵	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
	機(jī)械增壓泵	PRC-03A	PRC-06A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (D-T)
最大排氣速度	50Hz	359 m³/h (5,980 L/min)	653 m³/h (10,900 L/min)	1,012 m³/h (16,900 L/min)	1,701 m³/h (28,350 L/min)	3,200 m³/h(53,333 L/min)
	60Hz	365 m³/h (6,080 L/min)	701 m³/h (11,700 L/min)	1,051 m³/h (17,500 L/min)	1,784 m³/h (29,700 L/min)
到達(dá)壓力		0.67 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排氣口		KF40				KF50
MBP表面處理		〇 *1	〇 *1	〇 *1	〇 *1	×	T:× TT:×	×	TR:× TTR:〇
質(zhì)量		275 kg	370 kg	420 kg	545 kg	660 kg	720 kg	660 kg	720 kg
電源 *2	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)				180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	7.0 A (at 200V)	12.3 A (at 200V)	13.7 A (at 200V)	21.4 A (at 200V)	31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	9.6 A (at 200V)	19.0 A (at 200V)	24.2 A (at 200V)	39.8 A (at 200V)	58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa				0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa		0.1~0.3 MPa		0.2~0.5 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min				>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
N2 吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM				沒(méi)有 *3	0~45 SLM	沒(méi)有 *3	0~45 SLM

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