琳得科LINTEC 高速響應(yīng)質(zhì)量控制器流量計(jì)

琳得科LINTEC 高速響應(yīng)質(zhì)量控制器流量計(jì) MC-7000C
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

更新時(shí)間：2025-02-14
產(chǎn)品型號(hào)：MC-7000C
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
訪問(wèn) 量：550

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產(chǎn)品詳情

琳得科LINTEC 高速響應(yīng)質(zhì)量控制器流量計(jì) MC-7000C

池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

公司經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣(mài)、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。

池田屋主要經(jīng)營(yíng)日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類(lèi)檢測(cè)儀器、測(cè)量?jī)x器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類(lèi)工業(yè)流通產(chǎn)品。

公司擁有專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、*的管理團(tuán)隊(duì)，通過(guò)全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)水平和成熟技術(shù)，

服務(wù)于電子消費(fèi)類(lèi)、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車(chē)業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專(zhuān)業(yè)用戶(hù)里的世界500強(qiáng)企業(yè)。

高速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器

響應(yīng)時(shí)間為 200 毫秒的超高速質(zhì)量流量控制器。

熱傳感器實(shí)現(xiàn)100毫秒（典型值）的高速流量控制。 Lintec 的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可以實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度高，可達(dá)±1.0%SP，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。

使用示例

高速蝕刻工藝

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，需要在實(shí)現(xiàn)微型化的同時(shí)提高產(chǎn)量。對(duì)于控制反應(yīng)氣體流速的質(zhì)量流量控制器而言，縮短流量控制啟動(dòng)（上升）時(shí)間的需求也日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與被測(cè)氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實(shí)現(xiàn)了200毫秒的超高速響應(yīng)。由于是非接觸式，因此可以對(duì)腐蝕性氣體的流量測(cè)量進(jìn)行高速流量控制。

規(guī)格

_溫度	_最小壓差	_最大壓差	_{準(zhǔn)確性}	_控制范圍	_{最小滿(mǎn)量程}	_{最大滿(mǎn)量程}	_海豹
_5~50℃	_50千帕	_300千帕	_{±1%標(biāo)準(zhǔn)差}	_{2～100%滿(mǎn)量程}	_5SCCM	_20秒	_金