產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

EBARA荏原

干式真空泵

查看全部產(chǎn)品 >>

相關(guān)文章

干式真空泵技術(shù)突圍：EBARA荏原ESA25-D如何攻克半導(dǎo)體制造“呼吸難題“
2025-12-01
什么是編碼器及使用？池田屋
2024-10-10
什么是電動(dòng)液壓缸及應(yīng)用
2024-11-11
液位傳感器原理
2024-08-15
頻率測(cè)量?jī)x原理
2024-08-14

產(chǎn)品中心/ products

您的位置：首頁 - 產(chǎn)品中心 - EBARA荏原 - 干式真空泵 - EV-X300N全新??！EBARA荏原緊湊型干式真空泵

全新??！EBARA荏原緊湊型干式真空泵

全新！！EBARA荏原緊湊型干式真空泵 EV-X300N
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

更新時(shí)間：2025-03-21
產(chǎn)品型號(hào)：EV-X300N
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問量：481

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

全新！！EBARA荏原緊湊型干式真空泵 EV-X300N

EV-X型

結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)能，單個(gè)裝置可覆蓋多種工藝

適用于中等負(fù)荷工藝

高溫控制

節(jié)能

采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準(zhǔn)

提高耐腐蝕性的選擇

不同頻率下性能相同（50Hz/60Hz）

無油

符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

占地面積小

該款中負(fù)荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節(jié)能技術(shù)，并采用了針對(duì)自動(dòng)化工廠制造而優(yōu)化的模塊化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步的小型化和節(jié)能化。
寬范圍的溫度控制擴(kuò)大了適用工藝。

由于同一型號(hào)可覆蓋多個(gè)工藝，因此可優(yōu)化備用設(shè)備庫(kù)存，減少維護(hù)和培訓(xùn)工作，并可靈活適應(yīng)未來的工藝擴(kuò)展。

此外，通過對(duì)各工序進(jìn)行最佳溫度控制，可提高工序耐性，并可延長(zhǎng)零件的更換周期，有助于降低TCoO。
支持的應(yīng)用示例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等。

產(chǎn)品規(guī)格

型式	EV-X100N	EV-X200N	EV-X300N
最大處理風(fēng)量(L/min)	10,000	20,000	30,000
到達(dá)壓力(Pa)	0.5	0.5	0.5
電源規(guī)格	3相200-220V (50/60Hz)	3相200-220V (50/60Hz)	3相200-220V (50/60Hz)
到達(dá)底壓時(shí)消耗電力(kW)*	0.9	1	1.5

在線咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：EV-X200N原廠現(xiàn)貨??！EBARA荏原干式真空泵 EV-X型
下一篇：EV-S20原廠全新！！EBARA荏原干式真空泵 EV-S型

返回列表

首頁關(guān)于我們產(chǎn)品中心新聞中心技術(shù)文章在線留言聯(lián)系我們

企業(yè)名稱：
池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司
聯(lián)系電話：
0755-22220219
公司地址：
深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷10號(hào)展源商務(wù)大廈 1207
企業(yè)郵箱：
zx@ikedaya.cn

掃碼添加微信

技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml

全新??！EBARA荏原 緊湊型干式真空泵

EV-X型

結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)能，單個(gè)裝置可覆蓋多種工藝

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：

全新??！EBARA荏原緊湊型干式真空泵

結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)能，單個(gè)裝置可覆蓋多種工藝