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ULVAC愛發(fā)科

真空泵真空計(jì)

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ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空干泵

ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空干泵 LR90
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

更新時(shí)間：2025-06-06
產(chǎn)品型號：LR90
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問量：391

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空干泵 LR90

通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

特點(diǎn)

低溫區(qū)域均熱化（Model:LR）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

型號		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大排氣速度	50Hz	62 m3/h (1030 L/min)	112 m3/h (1860 L/min)	183 m3/h (3100 L/min)	440 m3/h (7333 L/min)	440 m3/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m3/h (1333 L/min)	126 m3/h (2100 L/min)	237 m3/h (3950 L/min)
到達(dá)壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口		KF40			VG50
質(zhì)量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
電源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	6.9 A (at 200V)	11.2 A (at 200V)	18.9 A (at 200V)	20.8 A (at 200V)
	最大值	7.3 A (at 200V)	11.8 A (at 200V)	20.6 A (at 200V)	48.5 A (at 200V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min			>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
氮?dú)獯祾?/td>	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM			沒有	0~45 SLM

*1 請訂購時(shí)指定。

型號		LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T (TT)	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)
使用泵	干式真空泵	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
	機(jī)械增壓泵	PRC-03A	PRC-06A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (D-T)
最大排氣速度	50Hz	359 m3/h (5,980 L/min)	653 m3/h (10,900 L/min)	1,012 m3/h (16,900 L/min)	1,701 m3/h (28,350 L/min)	3,200 m3/h(53,333 L/min)
	60Hz	365 m3/h (6,080 L/min)	701 m3/h (11,700 L/min)	1,051 m3/h (17,500 L/min)	1,784 m3/h (29,700 L/min)
到達(dá)壓力		0.67 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排氣口		KF40				KF50
MBP表面處理		〇 *1	〇 *1	〇 *1	〇 *1	×	T:× TT:×	×	TR:× TTR:〇
質(zhì)量		275 kg	370 kg	420 kg	545 kg	660 kg	720 kg	660 kg	720 kg
電源 *2	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)				180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	7.0 A (at 200V)	12.3 A (at 200V)	13.7 A (at 200V)	21.4 A (at 200V)	31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	9.6 A (at 200V)	19.0 A (at 200V)	24.2 A (at 200V)	39.8 A (at 200V)	58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa				0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa		0.1~0.3 MPa		0.2~0.5 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min				>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
N2 吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM				沒有 *3	0~45 SLM	沒有 *3	0~45 SLM

*1 LR300

、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
*2 請訂購時(shí)指定。
*3 根據(jù)用途，使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。

池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

公司經(jīng)過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。

池田屋主要經(jīng)營日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、的管理團(tuán)隊(duì)，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù)，

服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。

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