池田屋現(xiàn)貨??！富士金FUJIKIN   數(shù)控閥  FPR-PSD-21-6.35UGC#B

池田屋現(xiàn)貨??！富士金FUJIKIN   數(shù)控閥  FPR-PSD-21-6.35UGC#B

富士金（FUJIKIN）是日本的高精度流體控制設(shè)備制造商，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研等領(lǐng)域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能數(shù)字控制閥（數(shù)控閥），專為高精度氣體流量控制設(shè)計，適用于嚴苛的工業(yè)環(huán)境。

1. 主要特點

高精度控制：流量控制精度可達 ±1% FS（滿量程），適用于微流量調(diào)節(jié)。

快速響應(yīng)：開關(guān)時間 毫秒級（通常20-50ms），適合高速工藝需求。
耐腐蝕材料：閥體通常采用不銹鋼（SUS316L），密封材料可選氟橡膠（FKM）、EPDM等，適用于腐蝕性氣體（如HCl、Cl?、NH?等）。
數(shù)字信號控制：支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信協(xié)議（具體取決于配置），或模擬信號（4-20mA/0-5V）輸入。
緊湊設(shè)計：體積小，適合高密度安裝，節(jié)省設(shè)備空間。
高可靠性：適用于7×24小時連續(xù)運行，壽命長，維護需求低。

2. 典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造：用于CVD（化學(xué)氣相沉積）、蝕刻、離子注入等工藝的氣體流量控制。

• 光伏行業(yè)：在薄膜太陽能電池制造中控制SiH?、NH?、NF?等特種氣體。

• 實驗室設(shè)備：如氣相色譜（GC）、質(zhì)譜儀（MS）等需要高精度流量控制的場景。

3. 技術(shù)參數(shù)（示例，具體以數(shù)據(jù)為準）